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Sistema de Visão para Monitoramento Óptico Banda Larga, em Tempo Real, para Fabricação de Filtros com Filmes Finos Multicamadas

André L. MartinsEvandro L. L. Rodrigues

Para a fabricação de filtros ópticos com característica espectral crítica, utiliza-se a tecnologia de filmes finos multicamadas, a qual exige o monitoramento e controle de espessura dos filmes com alta precisão. O monitoramento óptico banda larga é um sistema que atende aos requisitos de fabricação destes filtros, mas o alto custo dos monitores ópticos banda larga comerciais atualmente disponíveis, especificamente para câmaras de evaporação de filmes finos, inviabiliza sua aquisição por empresas de pequeno e médio porte. Neste artigo apresenta-se o desenvolvimento de um sistema automático de monitoramento óptico banda larga de baixo custo para fabricação de filtros ópticos com filmes finos multicamadas, que se baseia na utilização de equipamentos ópticos de uso geral disponíveis no mercado. Nesta fase do trabalho, o sinal fornecido pelo espectrômetro durante a deposição real foi substituído por sinais simulados do crescimento do filme, e o algoritmo e seus sistemas de segurança puderam ser exercitados. As simulações mostraram que o sistema proposto possibilita a fabricação de filtros que atendem aos requisitos das aplicações especiais, com custo muito baixo quando comparado aos sistemas de monitoramento banda-larga comerciais. Uma restrição do sistema proposto é a baixa tolerância a variações no índice de refração dos materiais dos filmes, também identificada através de simulações.

http://www.lbd.dcc.ufmg.br/colecoes/wvc/2010/0030.pdf

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